產(chǎn)品中心
Products光學(xué)顯微鏡、掃描電鏡 掃描電鏡
高畫質(zhì)的鎢燈絲掃描電鏡, 圖象質(zhì)量更進(jìn)一步。
通過高畫質(zhì)提升掃描電鏡的分析能力和操作性, 凝聚日立科技“獨(dú)具匠心”。
SU3500鎢燈絲掃描電鏡具有實(shí)現(xiàn)了“3 kV加速電壓7 nm分辨率”的全新電子光學(xué)系統(tǒng), 可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能”＊1、以及更高檢測效率的 “UVD超高靈敏度可變壓力檢測器”＊1它為觀察和分析提出了嶄新的標(biāo)準(zhǔn)。
特點(diǎn)
低加速電壓觀察時(shí)分辨率更高，可更好地觀察樣品表面的細(xì)微形狀和更有效地降低樣品的損壞
全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和信號處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)了高速掃描和低噪音的觀察
和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比＊2自動(dòng)功能縮短＊3了大約11秒
具有在低真空時(shí)可以非常好地觀察樣品表面的細(xì)微形狀的“UVD(超高靈敏度可變壓力探測器)”＊4
具有實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能”＊4
規(guī)格
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項(xiàng)目 |
描述 |
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二次電子分辨率 |
3.0 nm(加速電壓=30 kV，WD=5 mm高真空模式) |
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背散射電子分辨率 |
4.0 nm(加速電壓=30 kV，WD=5 mm低真空模式) |
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放大倍率 |
5 - 300,000倍(底片倍率＊5） |
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加速電壓 |
0.3～30kV |
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可變壓力范圍 |
6～650Pa |
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最大樣品尺寸 |
直徑 200 mm |
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樣品臺 |
X |
0～100mm |
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Y |
0～50mm |
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Z |
5～65mm |
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R |
360° |
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T |
-20～90° |
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可觀察區(qū)域 |
直徑 130 mm(旋轉(zhuǎn)并用) |
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最大樣品高度 |
80mm（WD＝10mm） |
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馬達(dá)臺 |
5軸標(biāo)配 |
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電子光學(xué)系統(tǒng) |
電子槍 |
預(yù)對中的鎢燈絲 |
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物鏡光闌 |
4孔可動(dòng)光闌 |
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探檢測器 |
埃弗哈特 索恩利 二次電子探測器 |
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EDX分析 WD |
10 mm(取出角35°) |
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圖像顯示 |
操作系統(tǒng) |
Windows®7(有更改，恕不另行通知) |
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圖像顯示模式 |
全屏模式(1,280 × 960 像素) |
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排氣系統(tǒng) |
操作 |
全自動(dòng)排氣 |
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渦輪分子泵 |
261升/秒 × 1 |
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機(jī)械泵 |
135 L/min.(162 L/min.，60Hz) × 1 |
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觀察
